← back to authors

Egor V. Ivanov

🔕 sledovat

1 papers · first: 2026-06-24 · last: 2026-06-24

1
Papers
0.0
Max score
0.0
Avg score
Max AD (0 relevant)

📄 Papers

Gradient-based inverse lithography for EUV masks via the waveguide method and a physics-informed neural operator
7.5

physics.comp-ph · 2026-06-24

Článek představuje technologii inverzní litografie (ILT) založenou na gradientech pro EUV masky. Využívá diferencovatelnou vlnovodovou metodu a vlnovodový neuronový operátor (WGNO) jako fyzikální enginy pro rekonstrukci permitivity absorbéru masky.