← back to authors

Seungjin Lee

🔕 sledovat

1 papers · first: 2026-06-24 · last: 2026-06-24

1
Papers
0.0
Max score
0.0
Avg score
Max AD (0 relevant)

📄 Papers

Pseudo-spectral frequency-domain method with background field decomposition and Green's function preconditioner for electromagnetic scattering problem in EUV lithography
7.5

physics.comp-ph · 2026-06-24

Tento článek představuje zrychlený výpočetní rámec pro řešení problémů elektromagnetického rozptylu v planárně vrstvených médiích, typických pro EUV litografii. Metoda reformuluje problém rozptylu na homogenním pozadí a využívá pseudo-spektrální frek